Николай Нагаев («Завод полупроводниковых приборов»): О развитии новых технологий, независимости и импортозамещении

Основой технологических процессор российского «Завода полупроводниковых приборов» (АО «ЗПП», входит в ГК «Элемент») были японские разработки. Однако сегодня, несмотря на ограничения и санкции, отечественное предприятие успешно работает и без зарубежных партнеров, осваивая новые технологии. С какими проблемами сталкивается отечественная микроэлектроника, как обстоит ситуация с импортозамещением и подготовкой новых кадров? Об этом редактору «Телеспутника» рассказал технический директор АО «ЗПП» Николай Нагаев в кулуарах форума «Микроэлектроника».

Хотел бы сначала поговорить про оборудование. Насколько оно отечественное? В настоящее время наблюдаются проблемы с импортозамещением, с покупкой оборудования в Китае. Насколько отечественна аппаратная база?

Когда мы занялись серьёзным расширением производства под увеличивающиеся объёмы, оказалось, что у нас в России достаточно много производств, которые способны удовлетворить наши потребности. Да, эти производства небольшие, возможно потребуются доработки, настройки и адаптация, но, тем не менее, производства есть. Для нас это стало приятным открытием, потому что пришлось много покопать. Оборудование для таких стандартных технических процессов, как пайка, гальваническое покрытие и так далее, это вещи понятные, известные, они были всегда и с ними вопросов не возникало. Вещи более специализированные, такие как трафаретная печать или изготовление фотошаблонов, являются немного другим уровнем сложности, но нам удалось найти отечественных производителей. Так что здесь таких больших проблем нет.

Насколько я знаю, исторически производство основывалось на Kioto Ceramic. Сейчас японцами как-то ведётся общение, есть в этом проблемы?

 Да, исторически техпроцесс к нам приехал из Kiosera (ранее Kioto Ceramic). С 2010 года у нас шло активное взаимодействие с ними по обновлению участков техпроцессов. Буквально в конце 2021 года у нас закончился очередной контракт, а в начале 2022 года японцы отказались общаться с нами. На какие-то вопросы ещё отвечают, но технологическое взаимодействие уже остановилось.

Это как-то осложняет процесс?

Нет, потому что ещё в 1975 году технология была полностью нам передана. С 1975 года по 2010 год мы работали абсолютно автономно. С 2010 года начались консультации в плане модернизации, переоснащения, освоения современных сложных изделий. Но это не назовёшь какой-то технологической зависимостью. То есть мы продолжаем быть автономными. Да, какие-то вещи нам будет делать посложнее, чем можно было бы при их поддержке японцев. Но мы справимся.

Генеральный директор – Андрей Нарбутт – заявил, что сегодня есть проблемы с малотоннажной химией, которая необходима для производства. Как вы смотрите на эту ситуацию?

Малотоннажная химия, это действительно большая проблема. Допустим, в Советском союзе если нужно было 500 килограмм определённого чистого вещества, то оно изготавливалось. В рыночной экономике изготовление такого небольшого объёма может быть нерентабельно, соответственно этим никто не занимается. Практически всю российскую историю многое в данном случае закупалось за границей, как в принципе во всей микроэлектронике. Когда ужесточились санкции в 2022 году, что-то пришлось покупать в Китае или Индии, что-то мы воспроизводим у себя. То есть достаточно много работ проводилось и проводится и на следующий год запланировано Минпромторгом по локализации изготовления этой малотоннажной химии. Проблема есть, но она решается.

Как вы считаете, она успешно решается?

Я не скажу, что она решена, но она постепенно решается. Динамика положительная есть, я её вижу.

Какие новые технологические приёмы применяются на производстве? Например, я видел что применяется пайка лазером.

Мы делаем корпуса. Корпус — это не конечный продукт, он применяется только в составе микросхемы. Соответственно, в своём развитии мы ориентируемся на запрос микросхемщиков. В этом плане мы развиваем не изделия, а технологию. Допустим, мы видим запрос от отечественной микроэлектроники на корпуса под посадку кристаллов Flip Chip. Соответственном, мы развиваем это направление. За последний год мы освоили буквально производство корпусов с матрицей Flip Chip с шагом 300 микрон. Сейчас есть запрос на уменьшение этого шага, есть пробный опытные образцы уже 200 микрон. Конечно, чтобы вывести её в серию, потребуется длительная работа, но тем не менее мы туда идём.

Лазеры — одно из интересных направлений. Мы применяем их не для изготовления конечной микросхемы и конечного корпуса. Лазеры применяются в процессе изготовления керамических деталей. Мы были первыми, кто начал пробивать лазером отверстия в сырой керамике. Первые в России, а, возможно, и в мире. Мы начали этот процесс ещё в 2015 году и тогда шли консультации с той же Kiosera, с которой мы тогда активно общались. Мы высказали идею, что нам нужно большое количество отверстий диаметром 120 микрон. Требовалось в районе 16 тысяч отверстий на одной карте. Коллеги из Японии сказали, что нужна только механическая пробивка и иначе никак, лазеры так не работают. Тем не менее, с Петербургским лазерным центром техпроцесс был отработан, подобрали режим, подобрали лазерную головку и процесс освоили. Сейчас мы пробиваем отверстия диаметром 80 микрон. Причем этих отверстий более 20 тысяч.

Хотел бы поговорить по поводу кадров. С кадрами в микроэлектронике наблюдаются проблемы. Как молодёжь идёт на предприятие?

Интересуется и идёт. Мы находимся в городе Йошкар-Ола. У нас есть два университета с которыми мы активно сотрудничаем. С Волготехом мы сотрудничаем по специальностям радиотехника, механика машиностроения. С классическим университетом мы работаем по направлениям «Химия», «Физика». Наш техпроцесс — это сложная взаимосвязь физико-химических процессов, у нас очень много материаловедения и поэтому готовых специалистов тут нет. Поэтому мы берем смежные специальности и доучиваем людей у себя. То есть мы берём студентов, которые нигде не смогут получить необходимые знания и доучиваем их у себя и после трудоустраиваем.